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中博芯半导体申请高质量增强型氮化镓外延片制备方法专利提升氮化镓外延片的可靠性和稳定性

发布时间:2026-01-27 16:07:27

  国家知识产权局信息显示,北京中博芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种高质量增强型氮化镓外延片的制备方法”的专利,公开号CN121381165A,申请日期为2025年9月。

  专利摘要显示,本申请提供了高质量增强型氮化镓外延片的制备方法,包括如下步骤:步骤1:提供氮化镓异质结外延结构;步骤2:在氮化镓异质结外延结构上采用脉冲式生长法制备氮化镓2D层,步骤3:在氮化镓2D层上制备P型氮化镓帽层;步骤4:在P型氮化镓帽层生长后,进行退火,得到高质量增强型氮化镓外延片。本申请通过脉冲式生长法在氮化铝镓势垒层与P型氮化镓之间生成高质量氮化镓2D层,达到缓解P型氮化镓生长面临的晶格失配和生长条件差异过大的问题;在P型氮化镓生长之后,优化退火工艺,在保证活化率的同时,消除表面退火坑,从而提升氮化镓外延片的可靠性和稳定性,进而得到表面粗糙度小、表面态密度低、无退火坑形貌的高质量增强型氮化镓外延片。

  天眼查资料显示,北京中博芯半导体科技有限公司,成立于2020年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本13090.44万人民币。通过天眼查大数据分析,北京中博芯半导体科技有限公司参与招投标项目3次,财产线条,此外企业还拥有行政许可5个。

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